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測定原理・参考文献

パルス光加熱サーモリフレクタンス法

パルス光加熱サーモリフレクタンス法は、基板上に形成された薄膜試料をパルスレーザーで瞬間的に加熱し、薄膜内部への熱拡散による表面温度の低下速度あるいは裏面温度の上昇速度を測定することにより、薄膜の膜厚方向の熱拡散率または熱浸透率を求める計測技術です。

裏面加熱/表面測温(RF)方式
PicoTR

参考文献

“Light Pulse Heating Thermoreflectance Methods for Thermophysical Property Measurements of Thin Films”
Tetsuya BABA

“Current Activity of Thin Film Thermal Diffusivity Standard Using Light Pulse Thermoreflectance Method”
Naoyuki TAKETOSHI, Takashi YAGI, Tetsuya BABA

“Development of thin film reference material for thermal diffusivity”
Takashi YAGI, Naoyuki TAKETOSHI, Tetsuya BABA

“Direct observation of thermal energy transfer across the thin metal film on silicon substrates by a rear heating front detection thermoreflectance technique ”
Shakhawat H. FIROZ, Takashi YAGI, Naoyuki TAKETOSHI, Kazuko ISHIKAWA, Tetsuya BABA

“Thermal diffusivity measurement in a diamond anvil cell using a light pulse thermoreflectance technique”
Takashi YAGI, Tetsuya BABA, et al.